Picosun-Sprinter
應(yīng)用領(lǐng)域：
電子裝配
半導(dǎo)體
PICOSUN?R-200標(biāo)準(zhǔn)型ALD系統(tǒng)是一款
研發(fā)型產(chǎn)品，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，例如：電子
元器件， MEMS器件、顯示器、發(fā)光二極
管、激光器以及透鏡、光學(xué)部件、珠寶、硬
幣、醫(yī)療植入物等3D部件。
主要優(yōu)點(diǎn)
主要優(yōu)點(diǎn)
PICOSUN?R-200標(biāo)準(zhǔn)型ALD系統(tǒng)是ALD科研
設(shè)備市場的領(lǐng)導(dǎo)者。它已經(jīng)成為一些創(chuàng)新公司
和研究機(jī)構(gòu)的必備研發(fā)工具。
靈活的設(shè)計確保沉積高質(zhì)量的ALD薄膜，超
靈活的系統(tǒng)配置也能滿足用戶未來的需求和
應(yīng)用。專利的熱壁設(shè)計、完全獨(dú)立的前驅(qū)體管
路和特殊的載氣設(shè)計，使得無顆粒沉積廣泛
應(yīng)用于平面晶圓、3D基片和所有納米尺度的
材料。即使在最具挑戰(zhàn)性的多孔材料、超高深
寬比和納米顆粒表面沉積，系統(tǒng)都能實(shí)現(xiàn)極
好的均勻性，這些都?xì)w功于我們的專利技術(shù)
Picoflow?。Picosun?R-200標(biāo)準(zhǔn)型系統(tǒng)配備功
能強(qiáng)大和易于更換的液體、氣體和固體前驅(qū)體
源。系統(tǒng)可集成手套箱，粉末反應(yīng)腔和各種在
線分析系統(tǒng)，使您的研究變得高效和靈活。即
使將來您改變研究領(lǐng)域，它仍然會是您最好
的幫手！
PICOSUN?R-200標(biāo)準(zhǔn)型ALD系統(tǒng)是ALD科研
設(shè)備市場的領(lǐng)導(dǎo)者。它已經(jīng)成為一些創(chuàng)新公司
和研究機(jī)構(gòu)的必備研發(fā)工具。
靈活的設(shè)計確保沉積高質(zhì)量的ALD薄膜，超
靈活的系統(tǒng)配置也能滿足用戶未來的需求和
應(yīng)用。專利的熱壁設(shè)計、完全獨(dú)立的前驅(qū)體管
路和特殊的載氣設(shè)計，使得無顆粒沉積廣泛
應(yīng)用于平面晶圓、3D基片和所有納米尺度的
材料。即使在最具挑戰(zhàn)性的多孔材料、超高深
寬比和納米顆粒表面沉積，系統(tǒng)都能實(shí)現(xiàn)極
好的均勻性，這些都?xì)w功于我們的專利技術(shù)
Picoflow?。Picosun?R-200標(biāo)準(zhǔn)型系統(tǒng)配備功
能強(qiáng)大和易于更換的液體、氣體和固體前驅(qū)體
源。系統(tǒng)可集成手套箱，粉末反應(yīng)腔和各種在
線分析系統(tǒng)，使您的研究變得高效和靈活。即
使將來您改變研究領(lǐng)域，它仍然會是您最好
的幫手！