Park原子力顯微鏡
應(yīng)用領(lǐng)域：
電子裝配
半導(dǎo)體
超低噪聲Z探測(cè)器，噪音水平低于0.02nm,從而達(dá)到非常精準(zhǔn)樣品形貌成像,沒(méi)有邊沿過(guò)沖無(wú)需校準(zhǔn)。Park NX20為您提
供好的數(shù)據(jù)同時(shí)也為您節(jié)省寶貴的時(shí)間
主要優(yōu)點(diǎn)
主要優(yōu)點(diǎn)
-為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供精確的形貌測(cè)量解決方案
-高分辨率電子掃描模式。
-對(duì)樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測(cè)量
-樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測(cè)量
-低噪聲Z探測(cè)器可精確測(cè)量AFM表面形貌
-非接觸模式,降低針尖磨損，減少換探針時(shí)間
-非接觸模式下的快速缺陷成像
-業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的三維結(jié)構(gòu)測(cè)量的解耦XY掃描系統(tǒng)
-通過(guò)使用熱匹配的組件,盡量減少系統(tǒng)漂移和遲滯現(xiàn)象
-低噪聲Z探測(cè)器可精確測(cè)量AFM表面形貌
-業(yè)界領(lǐng)先的低噪聲Z檢測(cè)器測(cè)量樣品表面形貌
-沒(méi)有過(guò)沿過(guò)沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
-即便是高速掃描也可以保持精確的表面高度
-行業(yè)領(lǐng)先的前向和后向掃描間隙橫向飄移小于0.15%
-用真正的非接觸掃描方式節(jié)省成本
-在一般用途和缺陷成像中,具有普通掃描模式10倍或更長(zhǎng)的針尖使用壽命
-減少針尖的尖端磨損
-最真實(shí)的再現(xiàn)樣品微觀三維形貌，減少樣品在掃描過(guò)程中的損壞或變形