FlexTRAK-2MB等離子系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域：
電子裝配
半導(dǎo)體
FlexTRAK-2MB系統(tǒng)專門用于晶舟、托盤或其他載
具中的微電子設(shè)備的高產(chǎn)能，在線式處理。等離子模塊可實(shí)現(xiàn)優(yōu)越的均勻性以及各批次加工的
重復(fù)性。該系統(tǒng)具有先進(jìn)的三軸對(duì)稱性等離子體處理
腔體，確保可對(duì)所有工藝參數(shù)和高度可重復(fù)性的結(jié)果
進(jìn)行控制。
主要優(yōu)點(diǎn)
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
獨(dú)特的晶舟分流特點(diǎn)優(yōu)化生產(chǎn)率
多個(gè)在線式模塊提高產(chǎn)能
均勻性極高的等離子體處理技術(shù)
生產(chǎn)待料的雙軌道晶舟控制
倒裝芯片底部填充(FCUF)工藝的最佳選擇